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三乙基硅烷,是一种无色透明的有机硅中间体。外观呈无色或浅棕色油状液体;溶于大多数极性有机溶剂,经常在CH2Cl2中使用;密度0.728 g/mL(25°C),沸点107-108°C,闪点-39C。易水解,放出乙醇,生成相应的缩合物。也可由硅粉在铜催化剂存在下,与乙醇反应来制取。用来合成有机硅中间体及各种硅烷偶联剂。也可以通过岐化反应制备高纯硅烷气体,或者用于制备有机-无机杂化材料。